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合金靶材的溅射原理

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合金靶材的溅射原理

发布日期:2016-03-29 00:00 来源:http://www。bjpram。com 点击:

合金靶材的溅射原理:

    对溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。   溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。   以pld为例,因素主要有:      靶材与基片的晶格匹配程度   镀膜氛围(低压气体氛围)   基片温度   激光器功率   脉冲频率   溅射时间   对于不同的溅射材料和基片,最佳参数需要实验确定,是各不相同的,镀膜设备的好坏主要在于能否精确控温,能否保证好的真空度,能否保证好的真空腔清洁度。


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